सिलिकॉन नाइट्राइड के संश्लेषण की रिपोर्ट सबसे पहले 1857 में हेनरी एडौर्ड सेंट-क्लेयर डेविल और फ्रेडरिक वॉहलर द्वारा दी गई थी। उनके संश्लेषण में, सिलिकॉन युक्त क्रूसिबल को कार्बन से भरे क्रूसिबल में रखा गया और ऑक्सीजन के प्रवेश को कम करने के लिए गर्म किया गया। उन्होंने सिलिकॉन नाइट्राइड नामक एक उत्पाद की सूचना दी, लेकिन इसकी रासायनिक संरचना निर्धारित करने में असमर्थ थे।
1879 में, पॉल शुटज़ेनबर्गर ने ब्लास्ट फर्नेस में अस्तर सामग्री (एक पेस्ट जिसे क्रूसिबल अस्तर के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है, लकड़ी का कोयला, कोयला ईट या कोक को मिट्टी के साथ मिलाकर बनाया जाता है) के साथ मिश्रित सिलिकॉन को गर्म करके उत्पाद तैयार किया और इसे Si3N4 संरचना के साथ एक यौगिक के रूप में रिपोर्ट किया। 1910 में, लुडविग वीस और थियोडोर एंगेलहार्ट ने मौलिक सिलिकॉन को शुद्ध नाइट्रोजन में गर्म करके Si3N4 तैयार किया। 1925 में, फ्रेडरिक और सिटिग ने कार्बन की थर्मल कमी का उपयोग करके नाइट्रोजन वातावरण में सिलिकॉन डाइऑक्साइड और कार्बन को 1250-1300 डिग्री तक गर्म करके सिलिकॉन नाइट्राइड को संश्लेषित किया।